Патент №2490657 - Способ определения теплового сопротивления цифровых интегральных микросхем

Изобретение относится к измерительной технике. Способ предназначен для использования на выходном и входном контроле качества КМОП цифровых интегральных микросхем и оценки их температурных запасов. Выбранный в качестве источника тепла логический элемент микросхемы нагревают проходящим греющим током через p-n-переход, образованный сильнолегированной p+областью, электрически соединенной с выходом микросхемы, и n-подложкой p-МОП транзисторов, электрически соединенной с выводом питания микросхемы в первом случае, или через p-n-переход, образованный сильнолегированной n+областью, электрически соединенной с выходом микросхемы, и p-карманом n-МОП транзисторов, электрически соединенным с общим выводом питания микросхемы во втором случае. Напряжение температурочувствительного параметра измеряют на p-n-переходе другого логического элемента при протекании прямого измерительного тока и p-n-переход образован сильнолегированной n+областью, электрически соединенной с выходом микросхемы, и p-карманом n-МОП транзисторов, электрически соединенным с общим выводом питания микросхемы в первом случае, или сильнолегированной p+областью, электрически соединенной с выходом микросхемы, и n-подложкой p-МОП транзисторов, электрически соединенной с выводом питания микросхемы во втором случае. Выводы питания микросхемы при измерении соединяют между собой. Изменение электрической греющей мощности определяют как произведение проходящего греющего тока через p-n-переход на падение напряжения на нем. Тепловое сопротивлении определяют как отношение изменения напряжения температурочувствительного параметра к изменению электрической греющей мощности и известному температурному коэффициенту напряжения температурочувствительного параметра. Изобретение обеспечивает уменьшение погрешности измерения. 4 ил.