Патент №2492513 - Голографический электронный микроскоп

Изобретение относится к области электронной техники и материаловедению и может быть использовано для неразрушающего контроля структур сложных молекул в реальном времени при исследовании и диагностике микро- и наноструктуры твердотельных объектов применительно к созданию новых полупроводниковых приборов, углеродных нанотрубок, металлов и сплавов, алмазных пленок, керамических материалов и приборов на их основе, а также в медицине и органической химии. Принцип работы устройства основан на осевой голографии и на технологии преобразования голографического интерференционного изображения в объемное изображение исследуемого объекта. Устройство содержит соосно расположенные источник излучения, приемник излучения, подложку для установки исследуемого объекта, преобразователь. В качестве приемника излучения использован детектор, который выполнен в виде микроканальной пластины с коэффициентом усиления не менее 103 и люминофорного экрана, нанесенного на волоконо-оптический диск с минимальной толщиной. Техническим результатом изобретения является повышение разрешающей способности и информативности интерференционного голографического изображения исследуемого объекта. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.