Патент №2494037 - Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок
Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано для получения атомно-тонких монокристаллических пленок различных слоистых материалов. Технический результат - упрощение технологии изготовления атомно-тонких монокристаллических пленок. Достигается тем, что в способе получения атомно-тонких монокристаллических пленок, включающем выделение тонких монокристаллических фрагментов из исходных слоистых монокристаллов, осуществляется приклеивание их к рабочей подложке с помощью эпоксидного клея и последовательное удаление слоев с тонких монокристаллических фрагментов с помощью, например, адгезионной ленты. 10 з.п. ф-лы, 4 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК B82B 3/00 | Изготовление или обработка наноструктур |
МПК H01L 21/00 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей |
МПК H05K 3/20 | Способы и устройства для изготовления печатных схем - нанесение токопроводящего материала в виде предварительно изготовленной схемы |
МПК H05K 3/22 | Способы и устройства для изготовления печатных схем - повторная обработка печатных схем |