Патент №2498360 - Способ прямой лазерной записи киноформных линз в толстых слоях фоточувствительных материалов типа фоторезистов (варианты)

Способ состоит в том, что излучение лазера, сфокусированное на поверхности фоточувствительного слоя, модифицируют по глубине пропорционально плотности мощности излучения, распространяющегося в фоточувствительном слое. Перед входом в фокусирующий объектив излучение лазера коллимируют в параллельный пучок диаметром менее входной апертуры упомянутого объектива и смещают параллельно оптической оси на величину, при которой одна из образующих продольного сечения экспонирующего конуса излучения в слое фоторезиста становится параллельной оптической оси фокусирующего объектива. Во втором варианте дополнительно в промежуток между выходной линзой фокусирующего объектива и поверхностью фоточувствительного слоя вводят иммерсионную жидкость. Технический результат - повышение дифракционной эффективности киноформных линз за счет снижения потерь на обратных скатах зон путем увеличения крутизны скатов, формируемых непосредственно в ходе прямой лазерной записи. 2 н.п. ф-лы, 4 ил., 1 табл.

Патент №2498360, изображение 1
Патент №2498360, изображение 2
Патент №2498360, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК G02B 1/12Оптические элементы, отличающиеся по материалу - поверхностной обработкой, например облучением
МПК G02B 3/08Линзы простые и сложные - несплошными, например линзы Френеля