Патент №2501885 - Применение мишени для искрового напыления и способ получения подходящей для этого применения мишени

Изобретение относится к нанесению покрытий искровым напылением. Мишень для нанесения металлооксидного и/или металлонитридного покрытия включает металлическую матрицу с размещенным в ней неэлектропроводящим оксидом и/или нитридом металла. Металлическая матрица выполнена из того же металла, что и металл в оксиде и/или нитриде металла, и структурирована в виде связной сетки заполненных этим металлом канавок. Промежутки сетки заполнены оксидом и/или нитридом металла. Способ получения мишени включает голографическое структурирование металлической матрицы из алюминия и оксида алюминия с получением металлической матрицы в виде связной сетки заполненных алюминием канавок, промежутки которой заполнены оксидом алюминия. Изобретение обеспечивает нанесение непроводящего слоя с металлическими компонентами на подложку путем искрового напыления. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.