Патент №2504600 - Способ получения люминофора в виде аморфной пленки диоксида кремния с ионами селена на кремниевой подложке

Изобретение к способу получения люминофора в виде аморфной пленки диоксида кремния с ионами селена, расположенной на кремниевой подложке. Способ включает имплантацию ионов селена с энергией ионов 300±30 кэВ при флюенсе4÷6·10 16 ион/см2 в указанную пленку и первый отжиг при температуре 900÷1000°C в течение 1÷1,5 часов в атмосфере сухого азота. При этом пленку дополнительно отжигают при температуре 500÷650°C в течение 1,5÷2,5 часов в воздушной атмосфере. Технический результат - повышение стабильности спектра фотолюминесценции люминофора, обладающего люминесцентным излучением в видимом диапазоне 380÷760 нм. 1 ил., 1 табл., 3 пр.

Патент №2504600, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/06Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - характеризуемые покрывающим материалом 14/04 имеет преимущество
МПК C23C 14/48Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - ионное внедрение
МПК C23C 14/58Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - последующая обработка