Патент №2506537 - Оптический способ измерения мгновенного поля толщины прозрачной пленки

Способ может быть использован для бесконтактных, непрерывных измерений толщин прозрачной пленки. Способ включает направленное воздействие лучей света на пленку, их полное внутреннее отражение на границе раздела сред и последующую обработку отраженного света. Источник света помещают над пленкой или под пленкой, от которого образуются лучи света, направленные под углами - меньшими предельного угла отражения на границе пленка - воздух и большими предельного угла отражения на границе пленка - воздух. Фиксируют изображение искаженного светового пятна, образованного на твердой поверхности под пленкой в результате полного внутреннего отражения света на границе раздела пленка - воздух, на видеокамеру в течение всего времени измерения, обрабатывают на компьютере, измеряют геометрические размеры светового пятна и определяют толщину пленки по формуле: h=(D-d)/[4tg arcsin (n2/n1)], где h - толщина пленки, D - длина главной диагонали эллипса, аппроксимирующего область светового кольца, d - размер источника света на поверхности, n2 - коэффициент преломления воздуха, n1 - коэффициент преломления материала пленки. Технический результат - создание простого способа, обладающего несложной калибровкой и обеспечивающего возможность прямых непрерывных измерений меняющегося во времени поля толщин прозрачной пленки с малой погрешностью измерения. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Патент №2506537, изображение 1
Патент №2506537, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01B 11/06Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения - для измерения толщины