Патент №2512697 - Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля

Устройство содержит закрепленное на основании (1) устройство (2) для регулировки и фиксации его положения относительно поверхности (12) объекта (13), соединенный с ним цилиндрический корпус (4), во внутренней полости (5) которого установлены источник (6) когерентного оптического излучения и фокусирующая излучение (31) на поверхность (12) объекта (13) оптическая система (8) с устройствами для регулировки и фиксации их положения (7) и (9), опорную балку (14), выполненную составной из однотипных цилиндрических элементов (28), светонепроницаемый защитный корпус (19) с окном (20), установленный с возможностью перемещения вдоль опорной балки (14), во внутренней полости (21) которого установлены светоделитель (22) и отражатель (23), жестко скрепленные между собой, и экран с устройствами для регулировки и фиксации их положения (24) и (26). На концах цилиндрического корпуса (4) и опорной балки (14), обращенных к поверхности (12) объекта (13), установлен поворотный шарнир (10), а между ними установлено устройство для регулировки и фиксации положения (30) опорной балки (14) относительно цилиндрического корпуса (4). Технический результат - снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений. 1 ил.

Патент №2512697, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01B 11/00Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения
МПК G01B 9/02Устройства, отличающиеся оптическими средствами измерения - интерферометры