Патент №2517798 - Тензорезисторный датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Тензорезисторный датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы. Датчик давления предназначен для использования при воздействии повышенных виброускорений и широкого диапазона нестационарных температур окружающей и измеряемой среды. Технический результат: уменьшение погрешности датчика давления при воздействии повышенных виброускорений и широкого диапазона нестационарных температур измеряемой и окружающей среды, уменьшение массы и времени готовности датчика. Сущность: кабельная перемычка 5 выполнена в виде четырех скрученных с шагом скрутки, не превышающим длины кабельной перемычки, электрически изолированных с помощью фторопласта или полиимида медных посеребренных токопроводящих жил с общим экраном 12 в виде оплетки из медных посеребренных проволок, защищенной фторопластовой или полиимидно-фторопластовой пленкой 13. Полость 9 между контактной колодкой 4, расширенным участком 10 и стенками втулки 6 заполнена полимерным материалом с меньшим, не менее чем в 10 раз по сравнению с материалом втулки, коэффициентом теплопроводности. Боковая поверхность накидной гайки в области, прилегающей к ближайшему к втулке 6 торцу 14 накидной гайки 2, выполнена в виде прямой круговой конической поверхности 15, ограниченной со стороны втулки торцем 14 накидной гайки 2, а с другой стороны сопрягающейся с шестигранником 16 накидной гайки 2, причем ось конической поверхности совпадает с продольной осью 17 датчика, и угол между образующей конической поверхности 15 и продольной осью 17 датчика равен углу расположения отверстия 8 патрубка относительно продольной оси датчика 17. Чувствительный элемент 1 выполнен таким образом, что площади боковой поверхности 18 его приемной полости и мембраны 19 удовлетворяют соотношению SБ=(10..14)SМ , SМ=(7 20)10-6 м2 - площадь мембраны. Кроме того радиус r0 конической поверхности 15 в плоскости ближайшей к втулке 6 торцевой поверхности накидной гайки 2, выполнен по заявляемому соотношению, а чувствительный элемент 1 выполнен таким образом, что площади боковой поверхности 18 его приемной полости и мембраны 19 удовлетворяют соотношению SБ =13,4 SМ, SМ=12,56·10-6 м2. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.