Патент №2520955 - Устройство химико-динамического травления германиевых подложек

Изобретение относится к электротехническому оборудованию и может быть использовано для химико-динамического утонения германиевых подложек. Технический результат заключается в повышении производительности и упрощении конструкции. В устройстве химико-динамического травления германиевых подложек, включающем платформу с реакционными сосудами, выполненную с возможностью совершения орбитального движения в горизонтальной плоскости, платформа выполнена в виде короба и снабжена цилиндрическими ванночками, при этом на дно ванночек установлены диски вкладышей, на которых горизонтально расположены пластины подложкой вверх, кроме того, крышки-втулки ванночек выполнены с возможностью ограничения толщины слоя травителя на поверхности пластин, а дно ванночек выполнено с возможностью его охлаждения проточной водой. 3 ил.

Патент №2520955, изображение 1
Патент №2520955, изображение 2
Патент №2520955, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01L 21/306Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - обработка химическими или электрическими способами, например электролитическое травлениедля образования диэлектрических пленок 21/31; последующая обработка диэлектрических пленок 21/3105