Патент №2521914 - Износостойкое наноструктурное покрытие
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Износостойкое наноструктурное покрытие выполнено из нанокомпозиционного металл-керамического материала, полученного на ситалловой подложке ионно-лучевым распылением, и имеет структуру, состоящую из гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных металлической фазой, при этом концентрация металлической фазы составляет 30-56 ат.%. Техническим результатом изобретения является создание наноструктурного металл-керамического покрытия, обладающего высокой износостойкостью и стабильностью параметров. 1 пр., 1 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B82B 3/00 | Изготовление или обработка наноструктур |
| МПК C23C 14/06 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - характеризуемые покрывающим материалом 14/04 имеет преимущество |
| МПК C23C 14/46 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника 14/40 имеет преимущество |