Патенты автора — Степанчиков С.В.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 59, получены - 1990-2002
- A01 – Сельское хозяйство; лесное хозяйство; животноводство; охота и отлов животных; рыболовство и рыбоводство
- A61 – Медицина и ветеринария; гигиена
- B02 – Дробление или измельчение различных материалов; подготовка зерна к помолу
- B25 – Ручные инструменты; переносные инструменты с силовым приводом; рукоятки для ручных инструментов; слесарные приспособления; манипуляторы
- B60 – Транспортные средства (общие вопросы)
- B65 – Транспортировка, упаковка и хранение грузов или материалов, в том числе тонких и нитевидных
- C04 – Цементы; бетон; искусственные камни; керамика; огнеупоры
- C10 – Нефтяная, газовая и коксохимическая промышленность; технические газы, содержащие оксид углерода; топливо; смазочные материалы; торф
- C23 – Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
- E04 – Наземное строительство
- E21 – Бурение грунта или горных пород; горное дело
- F15 – Гидравлические и пневматические исполнительные механизмы; пневмогидравлические системы общего назначения
- F16 – Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
- F24 – Нагрев; вентиляция; печи и плиты
- G01 – Измерение
- G05 – Управление; регулирование
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- H02 – Производство, преобразование и распределение электрической энергии
- Способ охлаждения полупроводниковых пластин в вакууме
Использование: изобретение относится к области технологической обработки полупроводниковых пластин в вакууме, а более конкретно к способам охлаждения полупроводниковых пластин в вакууме. Сущность: в качестве теплопроводящего вещества используют...
- Катодный узел с системой питания
Сущностью изобретения является устройство катодного узла с системой питания для нанесения тонких пленок, в котором анод выполнен в виде концентрических колец, связанных между собой диэлектрическими перемычками, число колец не менее трех, причем кольца...
- Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме
В основу изобретения положена задача повысить индукцию в рабочем зазоре и тем самым повысить скорость распыления материала. Эта задача решается тем, что вакуумная камера выполнена из немагнитного материала в форме прямоугольного параллелепипеда, у...
- Катодный узел
Сущностью изобретения является катодный узел, в котором элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой. Блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных...
- Катодный узел
Задача повышения равномерности магнитного поля решается тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с замкнутым магнитным полем, каждый электромагнит содержит катушку индуктивности и сердечник, один конец которого связан с общим ярмом,...
- Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме
Сущностью изобретения является катодный узел для получения тонких пленок в вакууме. При выполнении технологического процесса в вакууме происходит перемещение магнитной системы 2 по мере наращивания пленки на локальном участке посредством устройства...
- Катодный узел преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме
Использование: в области нанесения тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления. Сущность изобретения: в результате предложенной реконструкции механизма размещения катода-мишени обеспечивается ее равномерное распыление по всей...
- Установка для нанесения покрытий в вакууме
Изобретение относится к установкам для нанесения покрытия в вакууме. В основу изобретения положена задача повысить качество технологического процесса напыления, при повышении экологических, эргономических показателей и дизайна установки. Эта задача...
- Катодный узел для ионно-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме
Изобретение относится к нанесению тонких пленок путем ионного распыления материала в вакууме. В основу изобретения положена задача создать магнитную систему, у которой напряженность и индукция в межполюсной области изменяются во времени и пространстве....
- Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке
Использование: изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть применено для транспортировки подложки в вакуумной установке. Сущность изобретения: прижим-фиксатор выполнен в виде подвижной планки с пружиной сжатия, один торец которой...