Патенты автора — Железнов Ф.К.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 4, получены - 1991-1992
- B01 – Способы и устройства общего назначения для осуществления различных физических и химических процессов
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
| № | Компания | Патенты |
|---|---|---|
| 1 | НИИ молекулярной электроники | 2 |
- Способ удаления позитивного фоторезиста и устройство для его осуществления
Использование: изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, в частности к способу и устройству для удаления позитивного фоторезиста с поверхности полупроводниковых подложек. Сущность изобретения: целью изобретения является...
- Способ планаризации интегральных схем
Использование: микроэлектроника, производство БИС и СБИС. Сущность изобретения: способ планаризации интегральных схем путем плазменного травления в индивидуальном диодном реакторе при давлении от 150 до 600Па и плотности ВЧ мощности от 3,5 до 8,0...
- Фильтрующий модуль с ребрами жесткости для фильтра тонкой очистки воздуха
Использование: производство фильтров тонкой очистки воздуха (ФТОВ) в радиоэлектронной, атомной, химической, медицинской и биотехнологической промышленности. Сущность изобретения: в фильтрующем модуле, содержащем набор соединенных друг с другом...
- Фильтрующий модуль карманного типа и фильтр тонкой очистки воздуха
Использование: в радиоэлектронной, атомной, химической, медицинской и биотехнологической промышленности. Сущность изобретения: фильтрующий модуль содержит набор соединенных друг с другом чередующихся плоских и рельефных фильтрующих элементов (ФЭ) с...