Патент №2006845 - Способ изготовления чувствительного элемента газовых датчиков

Назначение: изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности газовых датчиков. Сущность изобретения: наносят слой двуокиси олова с примесью меди на изолирующую подложку и контакты к слою. Нанесение слоя двуокиси олова производят путем вакуумного напыления сплава олова и меди, содержащего 0,05 . . . 2 ат. % меди с последующим окислением этого слоя до получения полного оксида. 1 ил.