Патент №2008661 - Способ контроля качества обработки поверхности полупроводниковых пластин
Использование: изобретение относится к электрохимическим методам контроля полупроводниковых материалов и может быть использовано для оценки качества обработки поверхности. Сущность изобретения: контролируемую пластину используют в качестве рабочего электрода электрохимической ячейки. Ячейка содержит кроме рабочего электрода электрод сравнения и вспомогательный электрод. Кроме этих электродов ячейка дополнительно содержит электрод из контролируемого материала для осаждения примесей. 2 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G01N 27/00 | Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств |
| МПК H01L 21/00 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей |