Патент №2009569 - Способ получения многокомпонентного пучка ионов

Использование: в установках ионной имплантации ионного напыления. Сущность изобретения: для получения многокомпонентного пучка ионов заданного химического состава распыляемые элементы мишени выполнены из химических соединений, несовместимых в твердой фазе. Отношение площадей поверхностей распыляемых материалов выбрано обратно пропорциональным коэффициентам их распыления и прямо пропорциональным требуемому процентному содержанию ионов каждого химического соединения в пучке. Распыляемые элементы мишени располагают относительно сфокусированного пучка ионов газа таким образом, чтобы молекулярная масса химических соединений, из которых выполнены элементы, возрастала в направлении ускорения многокомпонентного потока ионов. 1 ил.