Патент №2009575 - Способ бесконтактного определения характеристик кремниевых пластин с внутренним геттером

Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для контроля качества подготовки кремниевых пластин с внутренним оксидным геттером. Сущность изобретения: способ позволяет контролировать ширину приповерхностной бездефектной зоны в кремниевых пластин, например, p- и n-типа проводимости за счет освещения ее импульсами ИК-света с объемным поглощением квантов и импульсами света видимого или ультрафиолетового диапазона длительностью не более 30 нс с поверхностным поглощением квантов, регистрации кривых спада фотопроводимости после окончания действия каждого импульса света, определении на нормированных кривых эквивалентных участков с постоянной времени спада, вычислением временной задержки между эквивалентными участками и определении ширины бездефектной зоны расчетным путем. 3 ил. , 1 табл.