Патент №2010033 - Устройство для испарения материалов в вакууме

Изобретение относится к технологическому оборудованию для вакуумного напыления, в частности к устройствам для испарения материалов в вакууме. Для повышения надежности работы и упрощения конструкции устройство содержит тигель с нагревателем, расположенным на наружной поверхности тигля, и с выступом в днище, разделенным на две равные части с помощью кольца из теплоизоляционного теплостойкого материала, причем кольцо герметично связывает как верхнюю, так и нижнюю части выступа, канал для слива и наружная поверхность выступа имеют коническую форму, а в нижней части выступа на его наружной поверхности установлены дополнительный нагреватель и система охлаждения. 1 ил.

Патент №2010033, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/00Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие