Патент №2010195 - Микродатчик давления
Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления, и может быть использовано при измерении давления жидкостей и газов. Датчик обладает высокой чувствительностью, имеет малые массогабаритные параметры благодаря тому, что его чувствительный элемент, представляющий собой мембрану, и основание выполнены из единого полупроводникового исходного материала, путем выполнения уточнения в цилиндрической или кубической заготовке, а измерительная и усилительная схемы сформированы на мембране и боковой поверхности цилиндра или куба соответственно. 2 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G01L 9/00 | Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств |