Патент №2010196 - Емкостный датчик давления и способ его изготовления

Использование: изобретение относится к датчикам, предназначенным для измерения давления в различных средах. Цель: повышение чувствительности и расширение области применения датчика. Сущность изобретения: датчик давления содержит первую мембрану с жестким центром и периферийным основанием, жестко соединенными жестким центром и периферийным основанием второй мембраны, пластину, размещенную с зазором относительно второй мембраны, электроды измерительного и опорного конденсаторов и выводные проводники, расположенные в межэлектродном зазоре и контактирующие с выводными электродами конденсаторов. Во второй мембране выполнены сквозные прорези, образующие равномерно расположенные идентичные перемычки, соединяющие жесткий центр и периферийное основание мембраны, а в периферийных основаниях мембран выполнены сквозные пазы, образующие идентичные перемычки. В датчик может быть введена дополнительная мембрана, в центральной части которой закреплен шток в виде полой втулки с продольными пазами, образующими выступы, которые размещены в прорезях пластины и второго упругого элемента и жестко закреплены на боковой поверхности жесткого центра. Сущность способа изготовления состоит в том, что до операции полировки упругих элементов и пластины выполняют во второй мембране сквозные прорези, а в основаниях мембран пазы жестко соединяют основания с помощью сварки, устанавливают первый упругий элемент планарной стороной на технологическую поверхность, прижимают жесткие центры друг к другу и с помощью сварки жестко их соединяют, затем полируют пластину и планарную сторону второй мембраны, формируют на них электроды конденсаторов, размещают выводные проводники на выводных электродах конденсаторов и прижимают и закрепляют пластину к основанию второй мембраны. 2 с. и 1 з. п. ф - лы, 4 ил.