Патент №2010199 - Емкостный датчик давления и способ его изготовления

Использование: датчик относится к измерительной технике и может быть использован для измерения давления различных сред. Цель: повышение технологичности, чувствительности и расширение области применения. Сущность изобретения: в емкостном датчике давления, содержащем корпус, упругий элемент в виде мембраны с жестким центром и с установленной на поверхности упругого элемента диэлектрической подложкой, на которой сформированы электроды, соединенные с контактными площадками, контактирующими с выводными проводниками, закрепленную на упругом элементе с межэлектродным зазором пластину с установленной на ее торце второй диэлектрической подложкой, на которой сформированы ответные электроды, соединенные с контактными площадками, контактирующими с выводными проводниками, диэлектрические подложки выполнены в виде гибких фольгированных диэлектрических пленок, жестко закрепленных нефольгированной стороной на упругом элементе и пластине, а контактные площадки электродов размещены на подложках, закрепленных на торце, противолежащем торцу с электродами, и на боковой поверхности выступа, выполненного в центральной части пластины, и разделены равномерно размещенными радиальными токопроводящими перегородками, выполненными за одно целое с пластиной и выступом, а выводные проводники выполнены в виде экранированных проводников, экраны которых электрически и механически соединены с выступом и корпусом. Способ изготовления заключается в том, что изготавливают упругий элемент и пластину, формируют электроды с контактными площадками на фольгированной стороне гибкой диэлектрической пленки, разделяют на отдельные подложки с электродами и контактными площадками, наносят на соприкасающиеся поверхности подложек упругого элемента и пластины клеящий материал, прижимают подложки к упругому элементу и пластине, причем прижатие в областях размещения электродов осуществляют технологическими пластинами с плоскими полированными поверхностями до окончания процесса полимеризации клеящего материала, закрепляют пластину на упругом элементе с зазором, закрепляют экраны выводных проводников на выступе пластины и соединяют выводные проводники с контактными площадками электродов, а экраны выводных проводников - с корпусом датчика. 2 с. п. ф - лы, 4 ил.