Патент №2036244 - Способ изготовления тонкой бериллиевой фольги
Использование: получение тонкой бериллиевой фольги в вакууме. Сущность изобретения: в способе изготовления тонкой бериллиевой фольги для увеличения выхода годных, осаждение паров бериллия прерывают после образования слоя толщиной 0,5 - 5,0 мкм и формируют слои из окиси бериллия толщиной 2,0 - 10,0 нм.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК C23C 14/00 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие |