Патент №2036832 - Способ получения газовой смеси, содержащей арсин или фосфин, и устройство для его осуществления

Использование: в микроэлектронике, волоконной оптике. Соединение мышьяка с металлами в виде гранул засыпают в реакционную колонку, через которую пропускают газ - носитель (например, водород), предварительно насыщенный водяным паром в термостате с сосудом увлажнителем, причем газ - носитель насыщают водяным паром до концентрации, отвечающей равновесному состоянию, а концентрация гидрида мышьяка в смеси с газом - носителем задается концентрацией насыщенного пара. 2 с. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.