Патент №2039007 - Способ хранения высокочистых неорганических кислот

При способе хранения высокочистых минеральных кислот с уровнем микропримесей 10-7-9-9 мас.% в полиэтиленовых или фторопластовой таре вводят предварительно очищенный поглотитель. Для соляной кислоты в качестве поглотителя используют графит ОСЧ 8 4 или ионообменную смолу КУ 2 8, или поролас Т. Для азотной графит ОСЧ 8 4 или фторопластовый порошок, или поролас Т. Способ позволяет после хранения исключить финишную очистку кислоты, используемой в качестве травителей при производстве полупроводниковых приборов. 3 з.п. ф-лы, 6 табл.