Патент №2046838 - Устройство для охлаждения подложек в вакууме

Использование: радиоэлектроника. Сущность изобретения: устройство для охлаждения подложек в вакууме содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, установленный на водяной рубашке 2, механические прижимы 3 для фиксации подложки 4 на установочной площадке подложкодержателя 1 и теплопроводный материал 5, размещенный на установочной площадке, при этом в подложкодержателе выполнено сквозное отверстие 6, в котором установлена тепловая труба 7 в форме диска, причем установочная площадка совмещена с внешней торцовой поверхностью диска тепловой трубы, а в качестве теплопроводного материала использован жидкий галлий. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.