Патент №2050320 - Способ получения моносилана

Изобретение относится к способам конверсии тетрафторида кремния в моносилан и фторид водорода. Использование: в микроэлектронной промышленности для получения моносилана, как сырье для производства поликристаллического кремния высокой чистоты. Сущность изобретения: смесь тетрафторида кремния и водорода конвертируют во фторсиланы путем возбуждения неконтрагированного сверхвысокочастотного разряда. Смесь фторсиланов направляют в колонну со фторидом натрия, находящегося при температуре 280 350°С, где осуществляют конверсию фторсиланов в моносилан. Образующуюся смесь направляют во вторую колонну с фторидом натрия при температуре 100 150°С, где проводят сорбцию фторида водорода. Регенерацию фторида натрия в первой и второй колоннах ведут при температуре 550 600°С и 450°С соответственно. 1 з. п. ф-лы.