Патент №2059194 - Интерферометр для контроля отклонений от плоскостности

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля отклонений от плоскостности поверхности объекта в различных отраслях промышленности. Цель - упрощение конструкции. Сущность изобретения: в интерферометре светоделитель в осветительной и наблюдательной ветвях выполнен в виде одной общей плоской пропускающей дифракционной решетки с возможностью его установки в потоке излучения между осветительной и наблюдательной системами с одной стороны и держателем объекта с другой стороны, осветительная и наблюдательная системы выполнены с возможностью их поворота относительно центра держателя объекта в плоскости, содержащей оси осветительной и наблюдательной систем. 2 ил.