Патент №2059231 - Газовый анализатор

Использование: для анализа различных газов. Сущность изобретения: газовый анализатор содержит кремниевую пластину, на которой последовательно сформированы слои оксида и нитрида кремния, слой нагревателя, слой диэлектрика и газочувствительный слой. Нагреватель выполнен в виде решетки с линейными размерами элементов, равными длине волны ИК-излучения, соответствующей максимуму поглощения молекул анализируемого газа. 1 ил., 2 табл.