Патент №2061533 - Способ изготовления микропористых мембран

Способ изготовления микропористых мембран включает в себя локальное облучение пленок или пластин потоками высокоэнергетических частиц и последующее их травление. Перед облучением пленку или пластину обрабатывают вызывающим ее набухание химическим реагентом и наносят слой эластичного резиста. После облучения пленку или пластину подвергают усадке. Обработку травителем ведут в две ступени, на первой из которых при помощи травителя, не воздействующего на исходную пленку и вытравливающего сквозные отверстия в слое эластичного резиста, а на второй ступени при помощи травителя, не воздействующего на слой эластичного резиста и че - рез отверстие в нем вытравливающего сквозные отверстия в пленке или пластине. Обработку химическим реагентом можно вести до или после нанесения слоя эластичного резиста на пленку или пластину. В качестве слоя эластичного резиста используют лэнгмюровскую пленку. Усадку можно вести до или после первой ступени травления. Перед второй ступенью травления пленку или пластину можно дополнительно облучать потоками высокоэнергетических частиц через отверстия в слое эластичного резиста. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.

Патент №2061533, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК B01D 67/00Способы, специально предназначенные для изготовления полупроницаемых мембран для процессов разделения, или устройства для этих целей
МПК B01D 71/00Полупроницаемые мембраны для процессов разделения или устройств, отличающиеся материалом для их изготовления; способы изготовления, специально предназначенные для этих целей