Патент №2089662 - Система охлаждения подложек в вакууме
Сущность изобретения является система охлаждения подложек в вакууме, содержащая подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество. В объеме теплопроводящего вещества размещена рубашка охлаждения. Охлаждение осуществляется путем подачи охлаждающего вещества от рубашки на подложку посредством теплопроводящего вещества. 2 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК C23C 14/00 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие |