Патент №2094104 - Способ изготовления пористых фильтров

Способ изготовления пористых фильтров включает локальное облучение потоками высокоэнергетических частиц (квантов излучения, ионов или электронов) исходной пленки или пластины и последующую обработку травителем. При этом перед облучением на исходную пленку или пластину наносят слой эластичного резиста, после облучения проводят операцию усадки, травление ведут в две ступени, на первой из которых при помощи травителя, не воздействующего на исходную пленку или пластину и вытравливающего сквозные отверстия в резисте, а на второй ступени при помощи травителя, не воздействующего на слой эластичного резиста и вытравливающего сквозные отверстия в пленке или пластине через отверстия в слое эластичного резиста. Усадку проводят до первой ступени травления или после нее. Перед второй ступенью травления пленку или пластину дополнительно облучают потоками высокоэнергетических частиц через отверстия в слое эластичного резиста. В качестве последнего используют лэнгмюровскую пленку. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.

Классификация патента

Код Наименование
МПК B01D 67/00Способы, специально предназначенные для изготовления полупроницаемых мембран для процессов разделения, или устройства для этих целей
МПК B01D 71/00Полупроницаемые мембраны для процессов разделения или устройств, отличающиеся материалом для их изготовления; способы изготовления, специально предназначенные для этих целей