Патент №2184698 - Способ получения трифторида азота

Изобретение относится к новому способу получения трифторида азота, который находит широкое применение в технологиях полупроводниковых материалов, высокоэнергетических лазеров и химического газофазного осаждения. Трифторид азота получают фторированием мочевины или продуктов ее разложения элементным фтором в безводном фтористом водороде при температуре от -20 до 0oС и мольном отношении фтора к исходным соединениям не более 3. Концентрация исходных соединений в безводном фтористом водороде составляет 20-50 мас.%. Разработанный способ взрывобезопасен и позволяет получать продукт с максимальным содержанием трифторида азота и минимальной концентрацией примесей с выходом до 90%. 4 з.п. ф-лы, 1 табл.