Патент №2206499 - Способ очистки газообразного трифторида азота
Изобретение относится к способу очистки газообразного трифторида азота от примеси CF4. Способ включает избирательную адсорбцию трифторида азота дегидратированным эрионитом при температуре от - 30 до 30oС, вытеснение тетрафторида углерода инертным газом, десорбцию и конденсацию очищенного трифторида азота. В результате очистки получают NF3 с чистотой 99,99% и содержанием СF4 не более 10 ррm. Разработанный способ сорбционный очистки NF3 позволяет проводить процесс при температуре окружающей среды и с большим ресурсом работы сорбента. Способ технологичен, экономичен и легко реализуется в промышленных условиях. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B01D 15/00 | Способы разделения, включающие обработку жидкостей твердыми сорбентами; устройства для этого |
| МПК B01D 37/02 | Способы фильтрования - предварительное нанесение фильтрующего слоя или материала; добавление ускорителей фильтрования к жидкостям, подлежащим фильтрованию |
| МПК B01D 53/00 | Разделение газов или паров; извлечение паров летучих растворителей из газов; химическая или биологическая очистка отходящих газов, например выхлопных газов, дыма, копоти, дымовых газов, аэрозолей |
| МПК B01D 53/02 | Разделение газов или паров; извлечение паров летучих растворителей из газов; химическая или биологическая очистка отходящих газов, например выхлопных газов, дыма, копоти, дымовых газов, аэрозолей - адсорбцией, например препаративной газовой хроматографией |
| МПК B01D 53/14 | Разделение газов или паров; извлечение паров летучих растворителей из газов; химическая или биологическая очистка отходящих газов, например выхлопных газов, дыма, копоти, дымовых газов, аэрозолей - абсорбцией |
| МПК B01J 20/00 | Составы твердых сорбентов или составы фильтрующих материалов; сорбенты для хроматографии; способы их получения, регенерации или реактивации (использование твердых сорбентов при разделении жидкостей B 01D 15/00; использование добавок для ускорения фильтрования B 01D 37/02; использование составов сорбентов при разделении газов B 01D 53/02, B 01D 53/14 |
| МПК C01B 21/00 | Азот; его соединения |