Патент №2207661 - Многоконтактное электрическое соединение

Использование: в микроэлектронике при разработке и изготовлении гибридных интегральных микросхем. Сущность изобретения: мгогоконтактное электрическое соединение содержит встречные контакты, состоящие из двух частей, расположенных на двух разных полупроводниковых подложках с элементами микросхемы и ориентированных друг против друга. Первые части встречных контактов, расположенные на первой полупроводниковой подложке, имеют выпуклую форму с плоской площадкой на вершине, вторые части встречных контактов, расположенные на второй полупроводниковой подложке с коэффициентом термического расширения, отличным от коэффициента термического расширения первой подложки, имеют углубления, дно которых выполнено в виде плоской площадки, причем первые части встречных контактов плоской площадкой на вершине входят в углубления вторых частей встречных контактов и создают электрическое соединение. При этом поперечный размер углублений некоторого количества вторых частей встречных контактов превышает поперечный размер выпуклых форм соответствующих первых частей встречных контактов на величину, достаточную для сдвига первых частей относительно вторых при изменении температуры, а поперечный размер углублений остального количества вторых частей совпадает с поперечным размером выпуклых форм первых частей. Техническим результатом изобретения является повышение устойчивости контактов к разрушению. 1 ил.