Патент №2221236 - Способ анализа физических и/или химических свойств поверхностного слоя твердого тела (варианты)

Использование - измерительная техника. Способ включает воздействие на поверхностный слой твердого тела излучением в виде атомарного пучка, и/или электронного пучка, и/или молекулярного пучка, и/или ионного пучка, и/или фотонного пучка, и/или их комбинации и последующую дезактивацию поверхностного слоя с регистрацией испускаемых вследствие этого квантов энергии. Воздействие производят единичным импульсом излучения, а дезактивацию поверхностного слоя твердого тела осуществляют по окончании воздействия на него излучением путем выдержки твердого тела при постоянной температуре и последующего нагрева, при этом спектр испускаемых поверхностным слоем твердого тела квантов энергии регистрируют в процессе дезактивации поверхностного слоя. Второй вариант способа включает воздействие на поверхностный слой твердого тела низкотемпературной плазмой. Технический результат - повышение точности. 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 22 ил.