Патент №2231507 - Способ изготовления вакуумно-плотных металлокерамических многоштырьковых ножек

Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к изготовлению многоштырьковых вакуумно-плотных металлокерамических ножек для электровакуумных приборов различного назначения. В способе изготовления вакуумно-плотных металлокерамических ножек используются материалы с близкими коэффициентами термического расширения. Способ включает использование, как минимум, двух керамических деталей, одна из которых с отверстием, пайку штырей в отверстиях осуществляют с помощью стеклоприпоя, помещенного сплошным слоем межу деталями, через отверстия которых проходят штыри. Для облегчения заполнения стеклоприпоем зазоров между стенками отверстий и зазоров в отверстиях одной из деталей предварительно заполняют порошком стеклоприпоя с максимальным размером зерна не более половины величины зазора, для повышения надежности и вакуумной плотности спая на одну из керамических деталей во время пайки прикладывают удельное давление около 30-50 г/см2. Предложенный способ позволяет получить почти стопроцентный выход годных ножек, содержащих 76 штырей диаметром 0,6 мм в керамической детали диаметром 18,5 мм. Ножки вакуумно-плотны для вакуума 10-10 мм рт.ст. при температуре 450°С.