Патент №2261420 - Тонкопленочный датчик давления

Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды (термоудара). Сущность: датчик давления содержит корпус, круглую мембрану с периферийным основанием, по которому мембрана закреплена в корпусе, соединенные перемычками из низкоомного материала и включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста окружные и радиальные тензорезисторы, выполненные в виде одинакового количества имеющих одинаковую форму тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны. При этом одна из перемычек, соединяющих окружные и радиальные тензорезисторы, имеет две контактные площадки, соединенные резистивной полосой в виде части кольца, размещенного на минимально возможном расстоянии от тензорезисторов по окружности с центром, находящимся в центре мембраны, причем отдельные участки части кольца закорочены дополнительными перемычками. Технический результат изобретения заключается в уменьшении погрешности измерения давления в условиях воздействия нестационарной температуры и измеряемой среды. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.