Патент №2312061 - Способ получения нитевидного нитрида алюминия
Изобретение может быть использовано для получения нитевидных кристаллов нитрида алюминия, пригодных для изготовления сенсорных зондов на кантилеверах атомно-силовых микроскопов. Способ получения нитевидного нитрида алюминия включает пропускание через нагретый алюминий газообразных реагентов в виде галогенидов алюминия (III) и азота и последующую конденсацию конечного продукта. Подачу галогенида алюминия (III) осуществляют со скоростью на уровне 0,1-6 см3/мин на каждый 1 см 2 поверхности конденсации. Конденсацию ведут на подложке из чистого графита. Изобретение позволяет получить нитрид алюминия в виде кристалловолокон с отношением длины к диаметру более 200-300. 3 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК C01B 21/072 | Азот; его соединения - с алюминием |
МПК C30B 29/38 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - нитриды |
МПК C30B 29/62 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - нитевидные кристаллы или иглы |