Патент №2312061 - Способ получения нитевидного нитрида алюминия

Изобретение может быть использовано для получения нитевидных кристаллов нитрида алюминия, пригодных для изготовления сенсорных зондов на кантилеверах атомно-силовых микроскопов. Способ получения нитевидного нитрида алюминия включает пропускание через нагретый алюминий газообразных реагентов в виде галогенидов алюминия (III) и азота и последующую конденсацию конечного продукта. Подачу галогенида алюминия (III) осуществляют со скоростью на уровне 0,1-6 см3/мин на каждый 1 см 2 поверхности конденсации. Конденсацию ведут на подложке из чистого графита. Изобретение позволяет получить нитрид алюминия в виде кристалловолокон с отношением длины к диаметру более 200-300. 3 ил.

Патент №2312061, изображение 1
Патент №2312061, изображение 2
Патент №2312061, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК C01B 21/072Азот; его соединения - с алюминием
МПК C30B 29/38Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - нитриды
МПК C30B 29/62Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - нитевидные кристаллы или иглы