Патент №2312319 - Тонкопленочный датчик давления

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды (термоудара). Датчик давления содержит корпус, круглую мембрану с периферийным основанием, по которому мембрана закреплена в корпусе, соединенные перемычками из низкоомного материала и включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста окружные и радиальные тензорезисторы, выполненные в виде одинакового количества имеющих одинаковую форму тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны. Каждый тензоэлемент выполнен в виде соединенных идентичными тонкопленочными перемычками одинакового количества идентичных микротензоэлементов, равномерно размещенных внутри границ тензоэлементов, а тонкопленочные перемычки, которыми соединены тензоэлементы окружных и радиальных тензорезисторов, частично замкнуты дополнительными перемычками. Характеристики тонкопленочных и дополнительных перемычек связаны определенным соотношением. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения давления в условиях воздействия нестационарной температуры. 3 ил.