Патент №2318218 - Устройство для измерения времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниках

Предложенное изобретение относится к области измерительной техники, а именно к области измерений электрофизических параметров полупроводниковых материалов с использованием зондирующего электромагнитного излучения высокой частоты, и может быть использовано для определения времени жизни неосновных носителей заряда в кремниевых пластинах и слитках. Целью изобретения является повышение точности и надежности измерения времени жизни. Устройство для измерения времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниках содержит осциллятор высокочастотных электромагнитных колебаний, открытый резонатор электромагнитных колебаний со встроенным в него световодом для подвода светового пучка к поверхности полупроводника, циркулятор, детекторный блок, полупроводниковый лазер, сопряженный со световодом, для генерации электронно-дырочных пар в объеме полупроводника, блок формирования и блок регистрации выходного сигнала с применением компьютера. При этом открытый резонатор представляет собой открытый с одного торца отрезок прямоугольного волновода, в который установлена прямоугольная вставка переменной высоты, монотонно переходящая в плоскость верхней поверхности волновода при приближении к задней стенке резонатора, которая формирует в полости открытого торца резонатора выходную излучающую прямоугольную щель. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Патент №2318218, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01R 31/26Устройства для определения электрических свойств; устройства для определения местоположения электрических повреждений; устройства для электрических испытаний, характеризующихся объектом, подлежащим испытанию, не предусмотренным в других подклассах - испытание отдельных полупроводниковых приборовизмерение содержания примесей G 01N