Патент №2319937 - Способ и устройство для обнаружения спектральной линии углерода у 193 нм методом оптической эмиссионной спектроскопии

Изобретение относится к спектральному анализу. Предложены измерительное устройство и способ для осуществления оптической эмиссионной спектроскопии без вакуумирования или продувки. Дуговой электрод имеет острие, заточенное под определенным углом. Держатель удерживает дуговой электрод на заданном расстоянии от анализируемого материала. Источник напряжения и тока создает и поддерживает напряжение между дуговым электродом и анализируемым материалом и обеспечивает протекание тока через дуговой разряд. Толщина дугового электрода составляет 3-10 мм, а угол заточки острия - 40-130°. Длина дугового разряда составляет 0,5-3 мм. Напряжение поджигающего искрового разряда лежит в интервале 5-20 кВ, напряжение дугового разряда - в интервале 20-160 В, а ток дугового разряда - в интервале 1-10 А. При этом собирающая и приемная оптические системы обеспечивают сбор оптического излучения и измерение его интенсивности, по меньшей мере, на длине волны 193 нм. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 7 ил.