Патент №2347741 - Способ получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия

Изобретение предназначено для получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия на различных подложках. Сущность изобретения: нанокристаллические покрытия на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия получают с использованием энергетического распыляющего пучка, в качестве которого применяют ионные циклотронные пучки ионов гелия He+ или ионов азота N 3+, которыми облучают в мишенной камере циклотрона в вакууме исходные кристаллы фторида лития или фторида натрия, которые располагают под углом 10-15° относительно пучка ионов и облучают до флюенсов 5·1015-10 7 ион/см2 при постоянном нагреве в течение всего процесса облучения с помощью контактного платинового электрода. Техническим результатом изобретения является получение нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия на различных подложках с высокой адгезией к подложкам и возможность создания нанокристаллических покрытий сплошного или островкового типа. 3 з.п. ф-лы, 6 ил.