Патент №2359220 - Дистанционный четырехволновый способ измерения толщины тонких пленок

Дистанционный способ измерения толщины тонких пленок на поверхности материала заключается в облучении поверхности материала оптическим излучением на длинах волн зондирования 1, 2, 3, 4, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определении толщины пленки d по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования 1, 2, 3, 4, причем длины волн зондирования 1, 2, 3 выбираются так, чтобы 1= 2- , 3= 2+ , выбирается таким образом, чтобы обеспечить выполнение неравенства где n2 - показатель преломления тонкой пленки, а длина волны зондирования 4 выбирается из условия Технический результат - обеспечение устойчивой работы способа измерения толщины тонких пленок в реальных условиях, когда шум измерения составляет единицы процентов. 3 ил.

Получить полный текст патента

Классификация патента

Код	Наименование
МПК G01B 11/06	Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения - для измерения толщины
МПК G01N 21/17	Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей - системы, в которых на падающий свет влияют свойства исследуемого материалав которых исследуемый материал оптически возбуждается с тем, чтобы вызвать изменение длины волны падающего света 21/63

Код

Наименование

МПК G01B 11/06

Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения - для измерения толщины

МПК G01N 21/17

Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей - системы, в которых на падающий свет влияют свойства исследуемого материалав которых исследуемый материал оптически возбуждается с тем, чтобы вызвать изменение длины волны падающего света 21/63