Патент №2365842 - Тигель для испарения алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии

Изобретение относится к тиглям для испарения алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии. Тигель включает корпус из нитрида бора в виде колбы с фланцем в верхней части и покрытие, содержащее пиролитический графит. Фланец выполнен в виде конического раструба. Покрытие нанесено на наружную поверхность конического раструба и выполнено однослойным из пиролитического графита с толщиной слоя 20-50 мкм. При этом наружная поверхность колбы открыта. Технический результат - предотвращение вытекания алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии. 4 ил.