Патент №2389973 - Способ изготовления тензорезисторов для измерения деформаций поверхности

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в экспериментальной механике для точного измерения веса, вибраций, сил. Технический результат: упрощение процесса изготовления, уменьшение трудоемкости технологических операций. Сущность: металлическую поверхность, например алюминиевую, окисляют методом глубокого пористого анодирования до формирования пленки окисла толщиной, обеспечивающей надежную электрическую изоляцию тензорезистора от поверхности металла. Упрочняют пленку окисла обжигом в азотной атмосфере. Наносят в вакууме слой SiO2 или Ta2O5, полируют его до 14 класса чистоты. Наносят на него слой нихрома с необходимым удельным сопротивлением посредством термического испарения нихрома из тигля в вакууме. Изготавливают по тонкопленочной фотолитографии рисунок тензорезистора. Затем напыляют в вакууме слои алюминия и меди, методом фотолитографии формируют контактные площадки и приваривают к ним токопроводящие проводники. Готовый тензорезистор изолируют сверху слоем SiO 2. 4 ил.