Патент №2393989 - Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния

Изобретение относится к области технологии изготовления наноструктур и может быть использовано при получении новых материалов для микро- и оптоэлектроники, светодиодных ламп, силовой электроники и других областей полупроводниковой техники. Поверхность кремниевой мишени облучают импульсами ускоренных ионов углерода с длительностью импульса ионного пучка в диапазоне 10-8-10-6 с, плотностью тока в импульсе 10-102 А/см2 , при энергии ионов 104-106 эВ и при числе импульсов воздействия пучка на мишень 102-104 . Для анализа мишени используют рентгенографический метод, фотолюминесценцию и просвечивающую электронную микроскопию. Изобретение позволяет повысить однородность размеров наночастиц и упростить реализацию способа в технологических целях. 1 табл.