Патент №2395788 - Способ измерения толщины тонких пленок на подложке

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для оперативного контроля толщины тонких пленок нефтепродуктов в очистных сооружениях, на внутренних водоемах, акваториях портов и т.п. Технический результат направлен на повышение точности измерений. Неконтактный способ измерения толщины пленки на поверхности материала подложки заключается в облучении поверхности оптическим излучением на разных длинах волн зондирования, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования, при этом используют плавно или дискретно (от шести длин волн зондирования) перестраиваемый по длине волн в узком диапазоне лазерный источник излучения, по данным измерений отраженного сигнала дополнительно определяют первую R'ref( , d) и вторую R ref( , d) производные коэффициента Rref( , d) отражения трехслойной системы "воздух-пленка-подложка" и вычисляют толщину пленки d по формуле: где n2 - показатель преломления материала пленки; r12, r23 - коэффициенты отражения на границе сред "воздух-пленка" и "пленка-подложка" соответственно. 2 ил.