Патент №2399030 - Тонкопленочный датчик давления

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения в условиях воздействия нестационарной температуры окружающей среды и повышенных виброускорений за счет уменьшения различия температур тензорезисторов и термоэлектрических неоднородностей. Тонкопленочный датчик давления содержит корпус, круглую мембрану с периферийным основанием, по которому мембрана закреплена в корпусе. Соединенные тонкопленочными перемычками и включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста окружные и радиальные тензорезисторы выполнены в виде тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны. Тонкопленочные перемычки частично замкнуты дополнительными перемычками. Расстояние между внутренней поверхностью корпуса и наружной поверхностью периферийного основания в области размещения тензорезисторов и размеры периферийного основания связаны соответственным соотношением. Соединение периферийного основания с корпусом выполнено в области между уплотнительной поверхностью периферийного основания и максимальным наружным диаметром корпуса. Максимальный диаметр наружной поверхности периферийного основания в области соединения с корпусом выполнен равным максимальному диаметру уплотнительной поверхности периферийного основания. Часть периферийного основания находится между областью соединения периферийного основания с корпусом и областью максимального наружного диаметра корпуса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.