Патент №2415378 - Способ измерения толщины и показателя преломления тонких прозрачных покрытий на подложке

Настоящее изобретение касается способа измерения толщины и показателя преломления тонких прозрачных покрытий на подложке. Заявленный способ включает облучение контролируемого покрытия оптическим излучением. При этом перестраивают в узком спектральном диапазоне длину волны падающего на контролируемое покрытие излучения. Далее регистрируют отраженные от покрытия потоки излучения, определяют зависимость отраженного потока излучения от длины волны и определяют на основе этой зависимости зависимость коэффициента отражения от длины волны и первую производную коэффициента отражения трехслойной системы "воздух-покрытие-подложка" и по ним определяют толщину и показатель преломления покрытия. Данный способ позволяет повысить оперативность измерений. 3 ил.