Патент №2423558 - Кристаллизатор для обработки расплавленного кремния и способ его изготовления
Изобретение относится к оборудованию для кристаллизации расплавленного кремния или металлургической обработки для получения кремния очень высокой чистоты. Кристаллизатор содержит основной корпус с поверхностью основания и боковыми стенками, образующими внутренний объем. В соответствии с настоящим изобретением основной корпус содержит, по меньшей мере, 65% по весу карбида кремния и от 12 до 30% по весу компонента, выбранного из группы, в которую входят диоксид или нитрид кремния. Более того, основной корпус содержит, по меньшей мере, одно покрытие из диоксида и/или нитрида кремния, по меньшей мере, на поверхностях, образующих внутренний объем кристаллизатора. Использование в качестве основного компонента кристаллизатора карбида кремния, имеющего кристаллографическую фазу, которая не подвергается фазовому превращению при температурах обработки расплавленного кремния, позволяет решить проблему потери однородности передачи/отвода энергии, существующую в обычных кристаллизаторах. Кроме того, карбид кремния не имеет пластических фаз при этих температурах и, следовательно, не подвергается деформации. Благодаря этим отличным характеристикам такой кристаллизатор может быть использован несколько раз без какого-либо видимого ухудшения его физической целостности. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 1 табл.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК C30B 11/00 | Выращивание монокристаллов обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте, например по методу Бриджмена-Стокбаргера |
| МПК C30B 15/10 | Выращивание монокристаллов вытягиванием из расплава, например по методу Чохральского - тигли или контейнеры для поддерживания расплава |
| МПК C30B 29/06 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой - кремний |
| МПК F27B 14/10 | Тигельные и горшковые печи; ванные печи - тигли |
